能量范围: 10 keV 到 100 keV
束流范围：50nA到100μA
光斑尺寸:10mm到500+mm
安装方式:6CF法兰
特点：操作时束流调整，统一宽角度束流，束流清洗，电聚焦，磁偏转，脉冲，光栅
可选阴极：
插入深度：
其他定制需求：高束流选项（最大1mA），小光斑尺寸选项（六硼化镧，10-7托），双光栅脉冲（2us-DC）
能量范围: 10 keV 到 100 keV
束流范围：50nA到100μA
光斑尺寸:10mm到500+mm
安装方式:6CF法兰
特点：操作时束流调整，统一宽角度束流，束流清洗，电聚焦，磁偏转，脉冲，光栅
可选阴极：
插入深度：
其他定制需求：高束流选项（最大1mA），小光斑尺寸选项（六硼化镧，10-7托），双光栅脉冲（2us-DC）