Kimball直线轰击型电子枪EGF-3104 / EGPS-3104
能量范围：200 eV to 20 keV
束流范围：1 nA to 100 µA / 10 nA to 1 mA
束斑范围：15 mm to 50 mm / 15 mm to 50 mm
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束斑范围：15 mm to 50 mm / 15 mm to 50 mm