使用真空腔的用户，经常听到残余气体分析，那么残余气体分析究竟是什么？需要怎么来分析呢？
在真空腔中，会有各类残余气体，这些残余气体可能会影响到用户的实验，所以，在抽完真空之后，需要检测真空腔中是否有超标的残余气体。
检测残余气体，最常用的就是RGA残余气体分析仪。
RGA的三个基本组成部分;
离子源 — 离子源用于将空间中的气体转化为离子。从热灯丝发射的电子利用电偏压加速。快速移动的电子与气体分子碰撞，将气体电离。
离子过滤器（四极杠）– 在给定条件下只有特定的离子能“穿”过四级杆到达探测器。
检测器 — 穿过过滤器的离子与法拉第杯的金属板碰撞收集。随着电子转化为电信号，离子被中和,形成离子的电流。
