能量范围: 10 eV to 1500 eV
束流范围和光斑尺寸: 标准：1nA到100μA/1mm到100mm。或者采用高流量模式：1nA到1mA/3mm到100mm
安装方式: 2¾CF法兰，可拆卸选项
特点：窄角梁或者阔角梁，电子聚焦，挠曲、光栅、脉冲
可选阴极：标准钽，氧化钇，氧化钡，或者高通量的氧化钇（1mA，必须增加附件）
插入深度：标准160mm，200mm，或客户定制
其他定制需求：高通量选择（1mA），双光栅脉冲，脉冲俘获（须脉冲发生器）
能量范围: 10 eV to 1500 eV
束流范围和光斑尺寸: 标准：1nA到100μA/1mm到100mm。或者采用高流量模式：1nA到1mA/3mm到100mm
安装方式: 2¾CF法兰，可拆卸选项
特点：窄角梁或者阔角梁，电子聚焦，挠曲、光栅、脉冲
可选阴极：标准钽，氧化钇，氧化钡，或者高通量的氧化钇（1mA，必须增加附件）
插入深度：标准160mm，200mm，或客户定制
其他定制需求：高通量选择（1mA），双光栅脉冲，脉冲俘获（须脉冲发生器）