EGF-3104 / EGPS-3104电子枪

能量范围: 200 eV to 20 keV
束流范围以及光斑尺寸: 标准：1nA到10μA/15mm到50mm；高束流：100nA到1mA/15mm到50mm
安装方式: 2¾CF法兰
特点：束流队列调整，宽角度统一束流，分歧控制，磁力挠曲，束流清洗，定制孔径光阑，脉冲，双光栅