能量范围: 100 eV to 10 keV
束流范围以及光斑尺寸: 标准：1nA到100μA/0.5mm到25mm；小光斑尺寸选项：1mA到10μA/0.06mm到10 mm；大束流选项：100nA到1mA/1.5mm到25mm
安装方式: 2¾CF法兰
特点：束流队列调整，平行束流，电子聚焦，挠曲，切断，脉冲，光栅，气动法拉第杯
可选阴极：标准钽，氧化钇（最高10-4托），氧化钡（10-7托），六硼化镧（最高10-7托）
插入深度：110或者160mm带熄灭装置，或者客户定制
其他定制需求：硬件光栅发生器，双脉冲光栅（2us-DC），高束流（见阴极部分），FC-2/PA-200法拉第杯，基础labview控制软件，软件光栅发生器（须labview软件），束流熄灭装置2us-DC（增加脉冲俘获装置后可缩短脉冲宽度），脉冲俘获（20ns-100ns，须熄灭装置），端口对准器栅，labview控制软件，软件光栅（须labview），端口对准器（±2°）