能量范围: 10 keV 到 100 keV
束流范围：10nA到1mA（脉冲可达20mA)
光斑尺寸:1mm到15mm
安装方式:6CF法兰
特点：磁聚焦和偏转（双棱镜系统），脉冲，差分泵浦，阀门
插入深度：
其他定制需求：
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束流范围：10nA到1mA（脉冲可达20mA)
光斑尺寸:1mm到15mm
安装方式:6CF法兰
特点：磁聚焦和偏转（双棱镜系统），脉冲，差分泵浦，阀门
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